浄殺菌効果については、殺菌薬剤と菌との接触状態、殺菌する対象の種類、温度や湿度などの環境要因によって大きく異なり、厳密には殺菌が必要な現場において定められた手法による評価が必要です。 オゾンは広い殺菌スペクトルを持ち、通常塩素系薬剤や抗生物質、熱処理でも殺菌されにくいウイルスや芽胞菌に対しても極めて有効な殺菌力を持っています。

オゾン（Ｏ_３）は独特の臭気を持った気体で、大気中では不安定で自然に分解して酸素（Ｏ_２）と活性な酸素（Ｏ）になります。この原子状酸素は他の物質と非常に反応しやすく、強い酸化力を持ちます。 オゾンを水中に溶解させると、オゾンは水と反応し、強力な酸化力を持つヒドロペルオキシラジカルやヒドロキシラジカルを生成します。オゾン水の持つこの強力な酸化力を利用して殺菌などの処理を行います。 またオゾン処理による最終生成物は酸化物であり、塩素を利用する方法に比べて有害物質を生成しません。しかも過剰なオゾンは、時間とともに無害な酸素になり、残留性がありません。